無塵車間標(biāo)準(zhǔn)等級通常分為十級，每一級對空氣中的粒子數(shù)量有更嚴(yán)格的限制。

1級無塵車間。通常用于制造集成電路等精密工業(yè)，要求每立方米空氣中大于或等于0.5微米的粒子數(shù)量不超過10個(gè)。

10級至1級無塵車間。每降一級，對空氣中粒子的限制更嚴(yán)格，例如，10級無塵車間的粒子數(shù)量限制是每立方米不超過100萬個(gè)0.5微米的粒子。

此外，ISO標(biāo)準(zhǔn)中還有其他級別的無塵車間，如ISO 2級至ISO 9級，這些級別主要針對空氣中大于或等于0.5微米的粒子數(shù)量，不同級別的差異在于粒子數(shù)量的上限不同。